Toepassing introductie:
Geautomatiseerde materiaalopslag en -beheer bij de productie van halfgeleiders
Geldt voor :
1. Opslag met hoge dichtheid, hoog ruimtegebruik, volledig gebruik van hoogteruimte
2. Snelle beat
3. Geïntegreerd in het materiaalbeheersysteem op de werkvloer
4. Snelle implementatie, automatische onderwijstest op niveau
5. Compatibel met ARV/OHT/OHS/handmatig en andere automatische processen
6. Voldoet aan Cleanroom ISO14644-14, SEMI S2 Standard en ESD-normen
Functie introductie
*Het wordt gebruikt voor online opslag van halfgeleiders, ondersteuning voor FOUP, CASSETTE, tijdschrift, lade en andere
*Kan aanmeren met ARV, ondersteunt handmatig laden en lossen
*Voldoet aan Cleanroom ISO14644-14, SEMI S2 Standard en ESD-normen
*Standaard SEMI-software-interface
*Modulair ontwerp
Blok4. No.358 Jinhu Road, Pudong-district, Shanghai, China