Opslag met hoge dichtheid, optimaal ruimtegebruik, volledige benutting van de hoogte.

Geautomatiseerde instructietests op materiaalniveau

Snelle implementatie

Hoog ruimtegebruik

Halfgeleiderfabriektechniek


Toepassing introductie:
Geautomatiseerde materiaalopslag en -beheer bij de productie van halfgeleiders
Van toepassing op:
1. Opslag met hoge dichtheid, optimaal ruimtegebruik, volledige benutting van de hoogte.
2. Snelle beat
3. Geïntegreerd in het materiaalbeheersysteem van de werkvloer
4. Snelle implementatie, automatische niveautest voor het lesgeven.
5. Compatibel met ARV/OHT/OHS/handmatige en andere automatische processen
6. Voldoet aan de cleanroomnorm ISO14644-14, de SEMI S2-norm en de ESD-normen.

Functie introductie
*Het wordt gebruikt voor online opslag van halfgeleiders en ondersteunt FOUP, CASSETTE, Magazine, Tray en andere systemen.
*Kan aanmeren bij ARV, ondersteunt handmatig laden en lossen
*Voldoet aan de cleanroomnorm ISO14644-14, de SEMI S2-norm en de ESD-normen
*Standaard SEMI-software-interface
*Modulair ontwerp




Blok4. No.358 Jinhu Road, Pudong-district, Shanghai, China